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    曝光機
    

    
Main parameter

    

    
    1. 設備功能:按制程要求在玻璃基板之感光膜上通過掩膜曝光產生感光圖案，為下一步圖案顯影作準備

    

    
    2. 設備外形尺寸:（L)2000×（W)1765×(H)2200mm

    

    
    3. 重量:1200Kg

    

    
    4. 基板尺寸： 470X370mm(寬度方向為370mm)

    

    
    5. 基板厚度: 0.4～1.1mm

    

    
    6. 曝光精度: ±0.03mm

    

    
    7. 寬線距范圍 :±10um

    

    
    8. 平臺平面度: ±0.02mm

    

    
    9. GAP重復精度: ±10μΜ

    

    
    10. 曝光燈散布均勻性： >90%以上（測25點，計算公式：小值/[敏感詞]值）

    

    
    11. 自動MARK對位： 自動對位

    

    
    12. 曝光光強度： 35mw/cm2以上

    

    
    13. 曝光燈類型： 平行曝光燈

    

    
    14. 生產效率： 20s/pcs(100mj)

    

    
    15. 平臺材質： 硬鋁合金，表面黑色硬質氧化

    

    


    

    

    


    


    
	
	
	

    


     

    





    
	

    



    




    




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